Ngày 20 tháng 5 năm 1901, Toàn quyền Đông Dương ra Nghị định thành lập tỉnh Phan Rang, tỉnh ly cũng là Phan Rang. Tỉnh Phan Rang gồm phủ (còn gọi là đạo) Ninh Thuận, huyện An Phước, huyện Tân Khai, tách từ tỉnh Khánh Hòa ra. Ngoài ra, Đà Lạt là đại lý hành chính thuộc tỉnh Phan Rang.

Năm 1913, tỉnh Phan Rang bị xóa bỏ, phần phía bắc nhập vào tỉnh Khánh Hòa, còn phần phía nam gọi là đại lý hành chính, thuộc tỉnh Bình Thuận.

Nghị định ngày 10 tháng 5 năm 1914 phân chia đại lý hành chính Phan Rang thành 2 khu vực:

• Khu vực dân tộc thiểu số cư trú (huyện Tân Khai) vẫn thuộc tỉnh Bình Thuận
• Khu vực người Việt và người Chăm cư trú nhập vào tỉnh Khánh Hòa.

Ngày 5 tháng 7 năm 1922, phủ Ninh Thuận được tách khỏi tỉnh Khánh Hòa lập lại tỉnh Phan Rang, còn gọi là tỉnh Ninh Thuận. Tổ chức hành chánh được chia thành:

• 5 tổng ở đồng bằng: Mỹ Tường, Đắc Nhơn, Kinh Dinh, Vạn Phước và Phú Quý
• 2 tổng ở miền núi: É Lâm Thượng và É Lâm Hạ) và huyện An Phước.